Video-instructivo para establecer un alto vacío en el sistema de sputtering RF(Fotónica del Silicio)
Автор: Arturo Rodríguez
Загружено: 2021-06-04
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El presente video explica el procedimiento para establecer un alto vacío en el sistema mini-sputtering asistido por radio frecuencia que se encuentra en el laboratorio de Fotónica del Silicio del Instituto de Física de la UNAM.
El video está dividido en las siguientes secciones:
Identificación de la bomba mecánica y la bomba turbomolecular 0:00:18
Identificación y conexión de clavijas para encender las bombas, sus controladores y los medidores de presión de la cámara 0:00:46
Arranque de la bomba mecánica y establecimiento de vacío primario (burdo) 0:03:21
Preparación de la bomba turbomolecular para su arranque y discusión respecto a las válvulas y los vacíos y los adecuados para hacerlo con seguridad 0:06:19
Arranque de la bomba turbomolecular mediante su controlador 0:14:58
Identificación del sonido de aceleración de la turbomolecular 0:15:45
Apertura de la válvula de la bomba turbomolecular para establecer alto vacío 0:16:54
Encendido de la emisión del sensor de cátodo frío para medir altos vacíos 0:18:22
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