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원자 단위로 박막을 만드는 미친 기술: Atomic Layer Deposition의 세계
Автор: Dr. Sammy
Загружено: 2026-01-17
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반도체 소자가 3D 구조(FinFET, GAA, 3D DRAM)로 진화하면서 기존 CVD 방식으로는 해결할 수 없는 '단차 피복성(Step Coverage)' 문제가 발생했습니다. ALD는 자기 제한적 반응(Self-limiting reaction)을 통해 원자 한 층씩 정밀하게 쌓아 올려, 복잡한 구조에서도 완벽한 균일도를 보장합니다.
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