半導體振動數據精準掌握｜Smart Robot Blade/Fork｜智慧振動監測解決方案

#smartfork #專利內置sensor #製程良率大躍進

【Smart Robot Blade/Fork】
微程式資訊攜手合作夥伴「盛詮科技」，首創將感測器埋入blade，可偵測出更準確的振(震)動數據，與市面上外置sensor相比，內置型smart blade的振(震)動傳遞較優，除了支援長時間連續量測外，亦可On-Line放入產線量測，特點如下：

⭐️ On-Line即時監測振(震)動 - 包含Wafer運送、Robot運作/偏移等
⭐️ 貼近Wafer靈敏度高 - Sensor置於晶圓正下方，感測更精準
⭐️ 各式blade可客製埋入 - 真空/負壓、陶瓷材質等均適用


【智慧振動監測解決方案】
由微程式自主研發，主要應用於半導體廠、面板廠等高科技產業，協助生產設備(如機器手臂、滑軌、馬達...) 的振(震)動偵測，能即時檢知機台異常，提高製程良率與機台稼動率，避免因Wafer受損或玻璃破片蒙受巨大損失。因應不同監測環境與需求，提供多樣「振(震)動監測模式」如下：

⭐️ 振(震)動特徵監測 - 電池版本偵測為主，以多感測器方式量測，找出振(震)動問題點
⭐️ 振(震)動學習監測 - 以DI/O與設備介接控制，上拋即時數據
⭐️ 多功能振(震)動記錄與專家分析 - 搭配專家分析軟體，藉由AI機械學習模式，發掘異常振(震)動

🔍️ 應用實例
機台隔震效果檢測、Chamber 異常偵測、Robot 刮片偵測、PVD Chamber、封測廠 Cylinder 量測、Dry Pump 量測、長晶廠研磨機

🔍️ 解決方案特色
• 提供電池、供電、外接等各種型式
• 無線/有線傳輸安裝自由
• 藍芽傳輸取樣率可達 2048 Hz
• 韌體/軟硬體皆自行開發，可依需求客製化調整

🔍️ 深入了解：https://pse.is/48zvsx

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0:00 Intro
0:19 研發背景
1:48 Smart Robot Blade/Fork
4:04 柏努力定律
4:54 智慧振動監測解決方案
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