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晶圓翹曲之應力分析技術
Автор: itricollege科技知識學習
Загружено: 22 авг. 2022 г.
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良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，目前真空鍍膜為光電半導體產業關鍵的製程之一，其精度、穩定性之要求對設備而言是極大之挑戰。6月號機械工業雜誌於「光電半導體產業設備技術專輯」中，介紹「多重物理耦合技術」，本場講座邀請機械所王慶鈞副組長、陳冠州資深工程師介紹解說光電半導體產業設備技術領域之「多重物理耦合技術_鍍膜製程模擬分析的核心」，讓晶圓製程透明化，讓翹曲的晶圓告訴你應力的分析技術！
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