반도체 피에조 응용: 디스펜서용 피에조 밸브 국산화와 하이브리드 본딩 나노 엑추에이터 응용 인하대 주승환교수

반도체 피에조 응용: 디스펜서용 피에조 밸브 국산화와 하이브리드 본딩 나노 엑추에이터 응용 인하대 주승환교수

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반도체 피에조 응용: 디스펜서용 피에조 제트 밸브 국산화와 하이브리드 본딩 나노 엑추에이터 응용 인하대 제조혁신전문대학원 주승환교수/공학박사 피에조의 응용 범위는 무궁 무진 하다. 정밀, 고정밀 분야는 전부 응용이 된다고 보면 된다. 피에조 방식은 물리학적인 원리의 응용하여 정밀하고, 항상 정확한 값, 또는 예측 가능한 값의 운동을 한다. 한치의 오차도 나오지 않는다. 그러니, 나노 단위의 액추에이터로 반도체 전공정, 하이브리드 본딩의 1nm 단위의 제어가 가능하다. 또한 반도체 디스펜싱의 언더필에서 항상 정확한 양의 용액을 토출한다, 이러한 응용에서는 절대적으로 필요하니, 이에 대한 내용을 숙지를 하고 넘어가는 것이 엔지니어에게는 필수이다. 이 글에서는 반도체 장비의 나노 단위 급의 정밀 제어, 반도체 디스펜싱의 정밀한 양의 토출하는 방식에 대해서 알아본다. 먼저 피에조의 원리에 대해 알아보고, 피에조 제트 밸브, 피에조 나노엑추에이터, 하이브리드 본딩의 본드 헤드의 응용에 대해서 알아본다. 글의 순서는 다음과 같다. 피에조 원리 피에조 제트 밸브 피에조 액추에이터 하이브리드 본딩의 헤드 응용

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