3. Quy tắc Antenna và cách khắc phục trong DFM

Phần này trình bày về lỗi antenna trong thiết kế vi mạch – một vấn đề phổ biến có thể gây hỏng lớp oxit cổng trong quá trình sản xuất. Nội dung sẽ giải thích nguyên nhân gây ra lỗi antenna, các quy tắc thiết kế để phòng tránh cũng như các phương pháp sửa lỗi hiệu quả trong khuôn khổ DFM (Design for Manufacturability). Việc nắm rõ các nguyên tắc này giúp đảm bảo độ tin cậy và chất lượng của sản phẩm bán dẫn.