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삼성전자 반도체가 5분만에 알려주는 포토공정과 EUV | 반도체 공정
Автор: 삼성전자 반도체 뉴스룸
Загружено: 27 апр. 2023 г.
Просмотров: 90 716 просмотров
Описание:
빛으로 필름에 장면을 찍어내는 카메라처럼
포토공정은 웨이퍼 위에 패턴을 그리는 과정입니다. 📸
하지만, 그려야할 패턴의 크기가 점점 작아지면서 포토공정은 한계에 도달했는데요.
이를 극복하기 위해 도입된 것이 바로 'EUV'입니다.
단순한 빛이 아닌 플라즈마를 활용한 초정밀 기술, EUV
딱 5분만에 삼성전자 반도체와 함께 알아볼까요? 🧐
📌편하게 보기
00:00 프롤로그
00:44 포토공정이란?
01:08 PR의 종류
01:26 빛의 성질과 한계
01:44 M.P.T (Multi-Patterning Technology)
02:07 O.P.C (Optical Proximity Correction)
02:39 빛의 파장 줄이기
03:08 EUV
03:30 EUV의 특징! '반사'
03:54 마스크의 변화
04:09 EUV 설비의 동작
04:23 ArF와 EUV 비교
04:47 EUV가 가져온 변화
#삼성전자반도체 #포토공정 #EUV
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