[ 반도체 엔지니어 ] 반도체 설비는 위험한 GAS를 어떻게 사용하고 있을까? Gas Box 구조 , IGS , VCR , W-seal , C-seal
Автор: mungineer
Загружено: 25 мая 2023 г.
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반도체 설비가 다양한 가스를 제어하는 방법에 대한 이야기 입니다.
변화되고 있는 GAS BOX 구조 IGS Block
Gas Box 내부 부품
VCR , W-seal , C-seal 차이
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