Lithography tool package training 3 – Exposure
Автор: DTU Nanolab
Загружено: 2024-09-24
Просмотров: 735
The second step in photolithography is to expose the resist film, in order to transfer a mask pattern into the resist.
Topics in lecture video:
• Exposure principle
• Spectral sensitivity
• Exposure dose
• Exposure hardware
• Common problems
Доступные форматы для скачивания:
Скачать видео mp4
-
Информация по загрузке: