Dry Etch TPT Training – ICP’s and Pegasus software: #5 Automatic processing at the DRIE-Pegasus
Автор: DTU Nanolab
Загружено: 2024-06-26
Просмотров: 451
This video introduces the batch recipes on the DRIE-Pegasus 1. These recipes are used in systems with a cassette loader and they combine process recipes with a batch of wafers.
Доступные форматы для скачивания:
Скачать видео mp4
-
Информация по загрузке: